半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)增速加快 芯片制造工藝技術(shù)不斷推進(jìn)

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上海2016年9月18日電 /美通社/ -- 對(duì)于全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來(lái)說，經(jīng)歷了2015年的產(chǎn)業(yè)大整合之后，整個(gè)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局已經(jīng)發(fā)生了深刻的變化。下一步，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將怎樣進(jìn)一步推進(jìn)？有哪些技術(shù)和市場(chǎng)發(fā)展趨勢(shì)？產(chǎn)業(yè)鏈上下游需要如何深度合作？這些都是半導(dǎo)體業(yè)界最關(guān)心的話題。

2016年9月13日，半導(dǎo)體流體系統(tǒng)和工藝的專家 - 世偉洛克在上海外灘英迪格酒店舉辦“2016年世偉洛克半導(dǎo)體行業(yè)精英論壇”，來(lái)自半導(dǎo)體行業(yè)的資深專家及行業(yè)分析人士匯聚，從不同角度和細(xì)分領(lǐng)域探討、分享在半導(dǎo)體設(shè)備、工藝技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)以及面臨的挑戰(zhàn)，分析當(dāng)前全球與中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展“拐點(diǎn)”下的市場(chǎng)趨勢(shì)

過去一年，在整體經(jīng)濟(jì)增速放緩的大背景下，中國(guó)作為全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)，是唯一保持增長(zhǎng)的地區(qū)，2015年銷售額同比增長(zhǎng)7.7%，半導(dǎo)體行業(yè)繼續(xù)呈現(xiàn)穩(wěn)步增長(zhǎng)的態(tài)勢(shì)，2016年則成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“拐點(diǎn)”。

對(duì)于當(dāng)前全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)，世偉洛克資深半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)理John Baxter分析指出：“半導(dǎo)體行業(yè)正廣泛使用新的3D芯片技術(shù)，該技術(shù)將激發(fā)和制造新的集成電路，這正是我們樂見其成的。隨之而來(lái)的就是對(duì)新技術(shù)的挑戰(zhàn)，需要整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈通過更多的交流與合作共同達(dá)成?！?/p>

來(lái)自SEMI中國(guó)的首席分析師戚發(fā)鑫則針對(duì)中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展趨勢(shì)作了重點(diǎn)分析，他指出，集成電路已經(jīng)成為中國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要支撐，是整個(gè)電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。同時(shí)，國(guó)家政策長(zhǎng)期支持產(chǎn)業(yè)發(fā)展?！爱a(chǎn)業(yè)政策+政府資金”雙輪驅(qū)動(dòng)我國(guó)集成電路產(chǎn)能擴(kuò)張積極。再結(jié)合全球產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)分析，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)黃金十年。

中微半導(dǎo)體采購(gòu)總監(jiān)、半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)資深人士朱文龍針對(duì)“半導(dǎo)體設(shè)備中的流體系統(tǒng)應(yīng)用”分享指出，技術(shù)發(fā)展為半導(dǎo)體設(shè)備帶來(lái)挑戰(zhàn)，包括線寬越來(lái)越小，防污染要求越來(lái)越多樣等，如果沒有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)，要花很多精力對(duì)應(yīng)。在流體系統(tǒng)里使用潔凈度、工藝標(biāo)準(zhǔn)高的組件，排除污染源時(shí)就可以節(jié)省很多資源。

美國(guó)國(guó)家科學(xué)基金會(huì)（NSF）北卡電子材料研究中心研究員、沈陽(yáng)拓荊科技有限公司總經(jīng)理呂光泉博士重點(diǎn)介紹了ALD原子層沉積工藝在半導(dǎo)體芯片制造工藝中的最新應(yīng)用場(chǎng)合，以及目前設(shè)備廠家ALD機(jī)臺(tái)大規(guī)模制造所帶來(lái)的挑戰(zhàn)。

不斷創(chuàng)新 世偉洛克深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用

論壇上，針對(duì)“芯片制造中氣體系統(tǒng)的挑戰(zhàn)和最佳實(shí)踐方案”，John Baxter作了詳細(xì)介紹，從“不穩(wěn)定的化學(xué)品，產(chǎn)品均一性和良率，成本的考慮”這幾個(gè)方面來(lái)闡述選擇一款合適的產(chǎn)品對(duì)芯片生產(chǎn)制造的重要性?！?/p>

作為包括 ALD、CMP、晶圓清洗、銅沉積、鈷沉積、CVD 和 PVD等在內(nèi)的半導(dǎo)體流體系統(tǒng)和工藝的技術(shù)專家，世偉洛克的工藝系列不僅支持半導(dǎo)體芯片制造，也支持平板顯示器、鋰離子電池、LED 以及光伏技術(shù)的開發(fā)。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用上，世偉洛克曾推出面密封金屬對(duì)金屬的接頭設(shè)計(jì)“VCR接頭”；其獨(dú)有的無(wú)彈簧隔膜閥設(shè)計(jì)，為隔膜閥設(shè)計(jì)中的潔凈度和可靠性設(shè)立了新的標(biāo)準(zhǔn)。一直以來(lái)，世偉洛克堅(jiān)持對(duì)產(chǎn)品原材料嚴(yán)苛的質(zhì)量控制，保證產(chǎn)品穩(wěn)定性，并不斷針對(duì)半導(dǎo)體制造對(duì)核心產(chǎn)品的苛刻需求進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，其重點(diǎn)產(chǎn)品包括球閥、超高純隔膜閥、波紋管閥、單向閥、最先進(jìn)的ALD（原子層沉積閥）、VCR金屬面密封接頭、高純微型焊接接頭、高純調(diào)壓閥和高純壓力表、高純過濾器、軟管等，廣泛應(yīng)用與半導(dǎo)體制造中。

論壇現(xiàn)場(chǎng)，一能科技有限公司總工程師星野政宏也向與會(huì)者介紹了日本IC產(chǎn)業(yè)與世偉洛克的合作。星野政宏曾擔(dān)任日本NEC工藝總工程師，參與日本18英寸國(guó)家項(xiàng)目，是中國(guó)半導(dǎo)體“909”工程的外籍專家，長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體的研究開發(fā)與應(yīng)用。

值得一提的是，為響應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)制程上不斷發(fā)展的需求，世偉洛克最近的一項(xiàng)技術(shù)革新是推出了原子層沉積(ALD)閥門。其ALD閥門具有超長(zhǎng)使用壽命（一億次開關(guān)以上），高速閥門執(zhí)行開關(guān)速度（低于5毫秒），高速閥門響應(yīng)速度（低于15毫秒），熱隔離機(jī)構(gòu)使工作溫度可達(dá)200攝氏度，閥門與閥門流量一致性控制在6%內(nèi)（性能遠(yuǎn)高于普通隔膜閥的10%）等特點(diǎn)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體ALD(原子層沉積工藝)高K電介質(zhì)沉積。

經(jīng)歷了半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展，如今的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)高度專業(yè)化。半導(dǎo)體設(shè)備和材料處于IC產(chǎn)業(yè)的上游，為IC產(chǎn)品的生產(chǎn)提供必要的工具和原料。而隨著芯片集成度不斷提高，制程節(jié)點(diǎn)不斷縮小，芯片制造工藝復(fù)雜程度也不斷遞增，這對(duì)設(shè)備與材料以及前道工藝技術(shù)提出更高的要求，不斷創(chuàng)新技術(shù)，跟進(jìn)市場(chǎng)發(fā)展需求，也成為產(chǎn)業(yè)鏈各個(gè)節(jié)點(diǎn)保持競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵。

關(guān)于世偉洛克

世偉洛克公司總部位于美國(guó)俄亥俄州索倫市，年銷售額20億美元，專業(yè)提供高質(zhì)量的流體系統(tǒng)組件，配件以及相關(guān)售后服務(wù)。世偉洛克在全球擁有200多家銷售與服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍布于全球70多個(gè)國(guó)家，提供一流的銷售與技術(shù)支持服務(wù)。

世偉洛克（上海）流體系統(tǒng)科技有限公司是美國(guó)世偉洛克公司在華的全資子公司，也是中國(guó)地區(qū)唯一官方授權(quán)的銷售和服務(wù)代表。自1985年進(jìn)駐中國(guó)以來(lái)，世偉洛克已在中國(guó)走過了10多年，奠定了高品質(zhì)的行業(yè)基石。其卡套接頭、閥門等產(chǎn)品也早已成為業(yè)內(nèi)有口皆碑的經(jīng)典產(chǎn)品并服務(wù)于石化、半導(dǎo)體、電力、石油天然氣以及替代能源等領(lǐng)域。除此之外，世偉洛克還提供各種軟管，測(cè)量裝置和工具設(shè)備（包括焊機(jī)系統(tǒng)）等流體系統(tǒng)元件，同樣擁有世偉洛克高品質(zhì)保障。

消息來(lái)源： 世偉洛克（上海）流體系統(tǒng)科技有限公司