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桃園2017年11月24日電 /美通社/ -- 由致茂電子投資的兆晟奈米科技于24日與工業(yè)技術研究院進行“奈米粒子監(jiān)控技術”轉移簽約儀式，工研院并將成為兆晟奈米科技的重要股東。兆晟奈米科技已于日前獲準進入新竹科學園區(qū)，發(fā)展、制造半導體先進制程所使用溶液的奈米粒子監(jiān)測系統(tǒng)，有效協(xié)助提升半導體制程良率。
半導體制程中常用到大量溶液，進行晶圓表面的清洗、研磨與蝕刻。隨著半導體制程從20奈米、10奈米乃至7奈米，電晶體縮小會使電流通道的寬度越窄，故制作過程中只要溶液出現(xiàn)一絲雜質 -- 殺手級的奈米粒子，就會影響產(chǎn)品良率。目前現(xiàn)有的光散射粒子量測技術在20奈米以下已難以精準偵測溶液中粒子的大小、數(shù)量，導致半導體制程良率難以控管。兆晟奈米將提供半導體廠一副“鷹眼”般的眼鏡：“新世代溶液奈米粒子監(jiān)測系統(tǒng) -- SuperSizer”，可準確偵測制程液態(tài)環(huán)境中5奈米以上粒子的大小與分布情形，使廠商得以采取必要的措施改善制程提升良率。此技術除應用于半導體先進制程，亦可應用在電子、光電、生醫(yī)材料等領域。
兆晟奈米科技將結合致茂集團營運據(jù)點及行銷通路，拓展全球市場。致茂電子為精密電子量測儀器、自動化測試系統(tǒng)、智慧制造系統(tǒng)與全方位Turnkey測試及自動化解決方案領導廠商，在半導體測試領域已具備多項后端制程精密量測產(chǎn)品線，兆晟奈米科技的加入將成為致茂集團提供半導體前端制程檢測解決方案的供應商，滿足半導體制程更完整的檢測需求。
